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问题

(浏览用户4595)问:集成电路行业投入巨大，公司目前在经营和研发投入资金方面是否有压力？ (2016-04-13 16:10:54)


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李延辉:

你好：
公司2016年度的重点研发及经营计划如下：（1）继续推进高端集成电路设备的研发①在300mm 90/65nm立式氧化炉/质量流量控制器研发及产业化项目产品已实现销售的基础上，拓展市场，扩大销售规模；②65-45nm铜互连清洗机设备产业化项目完成28nm清洗机设备内部工艺测试，进入中芯国际进行工艺验证；③完成45-32nm LPCVD设备产业化项目的工艺验证，年底前具备专项验收条件；④完成28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化项目设备的装配工作。
2015年公司重大专项研发项目的进展情况：公司完成了“300mm90/65nm立式氧化炉/质量流量控制器研发及产业化项目”国家验收工作，并实现7台销售；完成“65-45nm铜互连清洗机设备产业化项目”65nm设备工艺验证及28nm设备装配工作；“45-32nm LPCVD设备产业化项目”继续在中芯国际32-28nm生产线进行工艺验证，完成了MSTR验证；完成“28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化项目”的立项审批。该产品是半导体高世代成膜关键设备，通过项目实施，公司的半导体装备技术能力将从现有的65nm-45nm-28nm提升到28nm-14nm,既符合半导体技术进步要求，又能满足市场需要，对扩大公司产品种类范围，提升公司产品核心竞争力具有重要的现实意义。
重大专项的研发投入资金由中央、地方、企业自筹三部分构成。企业自筹资金只是整体研发投入的一部分，公司财务部会根据公司经营的具体情况合理安排研发资金的投入。谢谢！
(2016-04-13 16:31:31)


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